通過(guò)需要測(cè)量的特征，可判斷應(yīng)當(dāng)使用探針的類型和尺寸。測(cè)量過(guò)程中，要求探針的剛性和測(cè)尖的形狀都達(dá)到盡可能佳的程度。

　　對(duì)于蔡司探針我們要了解幾個(gè)名詞：

　　1.測(cè)針直徑；

　　2.總長(zhǎng)：指的是從探針后固定面到測(cè)尖中心的長(zhǎng)度；

　　3.桿直徑；

　　4.有效工作長(zhǎng)度(EWL)：有效工作長(zhǎng)度(EWL)：指的是從測(cè)尖中心到與一般測(cè)量特征發(fā)生障礙的探針點(diǎn)的距離。

　　我們?cè)谶x擇探針時(shí)的原則：

　　為保證一定的測(cè)量精度，在對(duì)探針的使用上，需要探針長(zhǎng)度盡可能短，探針彎曲或偏斜越大，精度將越低。因此在測(cè)量時(shí)，盡可能采用短探針；其次是連接點(diǎn)少，每次將探針與加長(zhǎng)桿連接在一起時(shí)，就額外引入了新的潛在彎曲和變形點(diǎn)。因此在應(yīng)用過(guò)程中，盡可能減少連接的數(shù)目；使測(cè)球盡可能大主要原因有兩個(gè)：使得球/桿的空隙大，這樣減少了由于“晃動(dòng)”而誤觸發(fā)的可能測(cè)球直徑較大可削弱被測(cè)表面未拋光對(duì)精度造成的影響。

　　蔡司探針測(cè)尖的材料-紅寶石：

　　常見(jiàn)的測(cè)球的材料是紅寶石，因?yàn)榧t寶石是目前已知的堅(jiān)硬的材料之一。紅寶石球具有良好的表面光潔度，并具有優(yōu)異的耐壓強(qiáng)度和抗碰撞性。只有極少的情況不適宜采用紅寶石球，如下情況下推薦采用其他材料制成的測(cè)尖：

　　在高強(qiáng)度下對(duì)鋁材料制成的工件進(jìn)行掃描。主要原因在于材料吸引，基于一個(gè)稱為“膠著磨損”的現(xiàn)象會(huì)在觸測(cè)過(guò)程中發(fā)生。在這種情況下，一個(gè)較好的選擇是氮化硅。